Thermal Desorption Spectroscopy of Sputtered MoS x Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Tribology transactions 1991-01, Vol.34 (2), p.205-214
Hauptverfasser:	Pierce, Daniel E., Burns, Richard P., Dauplaise, Helen M., Mizerka, Lawrence J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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