High dose implantations of antimony for buried layer applicationsrrr
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Veröffentlicht in: | Radiation effects 1980-01, Vol.47 (1-4), p.131-135 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0033-7579 |
DOI: | 10.1080/00337578008209198 |