High dose implantations of antimony for buried layer applicationsrrr

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Radiation effects 1980-01, Vol.47 (1-4), p.131-135
Hauptverfasser: Gailliard, J. P., Dupuy, M., Garcia, M., Roussin, J. C., Roche, M.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0033-7579
DOI:10.1080/00337578008209198