Role of the external photoelectric effect in surface microprocessing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Soviet journal of quantum electronics 1990-08, Vol.20 (8), p.948-950
Hauptverfasser: Ageev, Vladimir P, Konov, Vitalii I, Krechetov, A I
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0049-1748
2169-530X
DOI:10.1070/QE1990v020n08ABEH007326