Possible new sputtering mechanism in track registering materials

The ’’ion explosion’’ model of track production in dielectric materials in investigated as a possible source of sputtered particles at high bombarding energies.

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Appl. Phys. Lett.; (United States) 1976-10, Vol.29 (8), p.473-475
1. Verfasser: Haff, P. K.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:The ’’ion explosion’’ model of track production in dielectric materials in investigated as a possible source of sputtered particles at high bombarding energies.
ISSN:0003-6951
1077-3118
DOI:10.1063/1.89126