Possible new sputtering mechanism in track registering materials
The ’’ion explosion’’ model of track production in dielectric materials in investigated as a possible source of sputtered particles at high bombarding energies.
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Veröffentlicht in: | Appl. Phys. Lett.; (United States) 1976-10, Vol.29 (8), p.473-475 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | The ’’ion explosion’’ model of track production in dielectric materials in investigated as a possible source of sputtered particles at high bombarding energies. |
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ISSN: | 0003-6951 1077-3118 |
DOI: | 10.1063/1.89126 |