Response to “Comment on ‘Thickness and temperature depending intermixing of SiOx/SiO2 and SiOxNy/SiO2 superlattices: Experimental observation and thermodynamic modeling'” [Appl. Phys. Lett. 109, 166101 (2016)]

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2016-10, Vol.109 (16)
Hauptverfasser:	Zhigunov, D. M., Sarikov, A., Chesnokov, Yu. M., Vasiliev, A. L., Zakharov, N., Kashkarov, P. K.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied physics Silicon dioxide Superlattices Thermodynamic models
Online-Zugang:	Volltext
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