Heterogeneous 2.5D integration on through silicon interposer
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Veröffentlicht in: | Applied physics reviews 2015-06, Vol.2 (2), p.21308 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 1931-9401 1931-9401 |
DOI: | 10.1063/1.4921463 |