Simultaneous flattening of Si(110), (111), and (001) surfaces for three-dimensional Si nanowires

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2012-06, Vol.100 (26), p.261605
Hauptverfasser:	Morita, Yukinori, Ota, Hiroyuki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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