Dislocations and precipitates in gallium arsenide

A complete dislocation analysis on a large number of grown-in dislocations was performed on wafers taken from three different semi-insulating liquid encapsulation Czochralski GaAs single crystals. By determining the Burgers vector, line direction, and habit plane of nearly 800 dislocations a decisio...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 1992-01, Vol.71 (2), p.620-629
Hauptverfasser: SCHLOSSMACHER, P, URBAN, K, RÜFER, H
Format: Artikel
Sprache:eng
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