Focused ion beam generated antimony nanowires for microscale pH sensors

We demonstrate the formation of a complementary metal-oxide semiconductor compatible micro scale pH sensor with an antimony (Sb) nanowire network as the solid state pH electrode. The sensor is formed combining well known semiconductor processing techniques with a focused ion beam based approach indu...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2009-11, Vol.95 (22)
Hauptverfasser:	Avdić, A., Lugstein, A., Schöndorfer, C., Bertagnolli, E.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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