Fabrication of compositional graded Si1−xGex layers by using thermal oxidation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2009-05, Vol.94 (20), p.202104
Hauptverfasser:	Jang, J. H., Son, S. Y., Lim, Wantae, Phen, M. S., Siebein, K., Pearton, S. J., Craciun, V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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