Broadband Mo∕Si multilayer transmission phase retarders for the extreme ultraviolet

Experimental results on aperiodic broadband transmission molybdenum/silicon multilayer phase retarders for the extreme ultraviolet range are presented. The broadband phase retarders were designed using a numerical method and made using direct current magnetron sputtering on silicon nitride membrane....

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2007-01, Vol.90 (3)
Hauptverfasser:	Wang, Zhanshan, Wang, Hongchang, Zhu, Jingtao, Zhang, Zhong, Xu, Yao, Zhang, Shumin, Wu, Wenjuan, Wang, Fengli, Wang, Bei, Liu, Liqin, Chen, Lingyan, Michette, Alan G., Pfauntsch, Slawka J., Keith Powell, A., Schäfers, Franz, Gaupp, Andreas, MacDonald, Mike
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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