Fabrication of patterned single-crystal SrTiO3 thin films by ion slicing and anodic bonding

Fabrication of patterned single-crystal SrTiO3 thin films by ion slicing and anodic bonding

A new technique for directly fabricating patterned thin films (

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics letters 2006-09, Vol.89 (12)
Hauptverfasser: Lee, Yoo Seung, Djukic, Djordje, Roth, Ryan M., Laibowitz, Robert, Izuhara, Tomoyuki, Osgood, Richard M., Bakhru, Sasha, Bakhru, Hassaram, Si, Weidong, Welch, David
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:A new technique for directly fabricating patterned thin films (
ISSN:0003-6951
1077-3118
DOI:10.1063/1.2355457