Effect of collisions in the stratified presheath in electronegative plasmas

The effect of collisions in the formation of a stratified presheath in electronegative plasmas is analyzed. Collisions do not affect to the sheath-presheath structure in pure electropositive plasmas; however, in the case of electronegative plasmas, they can produce a large effect, changing the elect...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2006-06, Vol.88 (26), p.261502-261502-3
Hauptverfasser:	Fernández Palop, J. I., Ballesteros, J., Morales Crespo, R., Hernández, M. A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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