Production of Metallic and Other Ions in rf Ion Source
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Veröffentlicht in: | Review of Scientific Instruments (U.S.) 1966-07, Vol.37 (7), p.956-957 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0034-6748 1089-7623 |
DOI: | 10.1063/1.1720373 |