Plasma Conductivity Measurements Using rf Probes
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Veröffentlicht in: | J. Appl. Phys., 40: 1973-4(Mar. 15, 1969) 40: 1973-4(Mar. 15, 1969), 1969-01, Vol.40 (4), p.1973-1974 |
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1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0021-8979 1089-7550 |
DOI: | 10.1063/1.1657879 |