Plasma Conductivity Measurements Using rf Probes

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:J. Appl. Phys., 40: 1973-4(Mar. 15, 1969) 40: 1973-4(Mar. 15, 1969), 1969-01, Vol.40 (4), p.1973-1974
1. Verfasser: Stokes, A. D.
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-8979
1089-7550
DOI:10.1063/1.1657879