Effect of Deposition Parameters on the Crystallinity of Evaporated Germanium Films

Effect of Deposition Parameters on the Crystallinity of Evaporated Germanium Films

The crystallinity of Ge films deposited on (111) Ge substrates in vacuum ambients

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 1969-01, Vol.40 (11), p.4301-4305
1. Verfasser: Adamsky, Robert F.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:The crystallinity of Ge films deposited on (111) Ge substrates in vacuum ambients
ISSN:0021-8979
1089-7550
DOI:10.1063/1.1657191