Determination of Argon in Thin Films by rf Spark-Source Mass Spectrography

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 1968-01, Vol.39 (13), p.6106-6107
Hauptverfasser:	Oblas, Daniel W., Hoda, Helen
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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