Nanoscale electron-beam-stimulated processing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2003-04, Vol.82 (14), p.2326-2328
Hauptverfasser:	Rack, P. D., Randolph, S., Deng, Y., Fowlkes, J., Choi, Y., Joy, D. C.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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