The effect of composition on the thermal stability of Si1−x−yGexCy/Si heterostructures

The thermal stability of molecular beam epitaxy grown Si1−x−yGexCy/Si heterostructures (0⩽x

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 1998-04, Vol.72 (16), p.1972-1974
Hauptverfasser:	Kulik, L. V., Hits, D. A., Dashiell, M. W., Kolodzey, J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The thermal stability of molecular beam epitaxy grown Si1−x−yGexCy/Si heterostructures (0⩽x
ISSN:	0003-6951 1077-3118
DOI:	10.1063/1.121238