Imaging and profiling surface microstructures with noninterferometric confocal laser feedback

Exploiting the sensitivity and the self-aligning features of the confocal laser-feedback technique and the convenience of superluminescent laser diodes, we developed an optical method for imaging and profiling surface microstructures with a depth resolution as great as 20 nm. The incoherent, noninte...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 1995-04, Vol.66 (16), p.2022-2024
Hauptverfasser:	Lu, Chun-Hung, Wang, Jyhpyng, Deng, King-Li
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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