Structural and Electrical Characterization of Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 Thin Films Crystallized by Rapid Thermal Annealing

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	BIO web of conferences 2024, Vol.129, p.24040
Hauptverfasser:	Park, Jucheol, Park, Yeong Gyeong, Kang, Min-Ho, Lee, Myung-Keun, Hyun, Moon Seop
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!