Ductile dicing of LiNbO 3 ridge waveguide facets to achieve 0.29 nm surface roughness in single process step

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Electronics letters 2017-12, Vol.53 (25), p.1672-1674
Hauptverfasser:	Carpenter, L.G., Berry, S.A., Gawith, C.B.E.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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