Extracting intrinsic parameters of film bulk acoustic resonators with different sizes of pads

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Electronics letters 2011-08, Vol.47 (16), p.893-894
Hauptverfasser:	WU, M. J, JIN, H, DONG, S. R, JIN, P. C, LUO, J. K, MILNE, W. I
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Acoustic wave devices, piezoelectric and piezoresistive devices Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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