Surface passivation of AlN/GaN MOS-HEMTs using ultra-thin Al 2 O 3 formed by thermal oxidation of evaporated aluminium

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Electronics letters 2010-02, Vol.46 (4), p.301-302
Hauptverfasser: Taking, S., Banerjee, A., Zhou, H., Li, X., Khokhar, A.Z., Oxland, R., McGregor, I., Bentley, S., Rahman, F., Thayne, I., Dabiran, A.M., Wowchak, A.M., Cui, B., Wasige, E.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-5194
1350-911X
DOI:10.1049/el.2010.2781