Increasing electrical conductivity in sputter-deposited Si/SiGe multilayers through electrical pulse based annealing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Electronics letters 2008-10, Vol.44 (21), p.1274-1275
Hauptverfasser:	PICHANUSAKOM, P, ELSNER, N. B, BANDARU, P. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronic equipment and fabrication. Passive components, printed wiring boards, connectics Electronics Exact sciences and technology
Online-Zugang:	Volltext
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