Low-temperature vapour deposition of high-purity iridium coatings from cyclooctadiene complexes of iridium. Synthesis of a novel liquid iridium chemical vapour deposition precursor

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of materials chemistry 1991, Vol.1 (4), p.551
Hauptverfasser:	Hoke, Jeffrey B., Stern, Eric W., Murray, H. H.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!