Diagnostic studies of a low-pressure inductively coupled plasma in argon using a double Langmuir probe

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of analytical atomic spectrometry 2002-06, Vol.17 (6), p.565-569
Hauptverfasser:	Sung, Yong-ik, Lim, H. B., Houk, R. S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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