Photogenerated amines and their use in the design of a positive-tone resist material based on electrophilic aromatic substitution

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of materials chemistry 1991, Vol.1 (6), p.1045-1050
Hauptverfasser:	Matuszczak, Stephen, Cameron, James F., Fréchet, Jean M. J., Wilson, C. Grant
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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