Determination of trace impurities in organometallic semiconductor-grade reagents and process chemicals with electrothermal vaporization-inductively coupled plasma atomic emission spectrometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of analytical atomic spectrometry 1994, Vol.9 (10), p.1121-1128
Hauptverfasser:	ARGENTINE, M. D, KRUSHEVSKA, A, BARNES, R. M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Analytical chemistry Chemistry Exact sciences and technology Spectrometric and optical methods
Online-Zugang:	Volltext
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