Atomic Layer Deposition, Characterization, and Growth Mechanistic Studies of TiO 2 Thin Films

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Langmuir 2014-07, Vol.30 (25), p.7395-7404
Hauptverfasser:	Kaipio, Mikko, Blanquart, Timothee, Tomczak, Yoann, Niinistö, Jaakko, Gavagnin, Marco, Longo, Valentino, Wanzenböck, Heinz D., Pallem, Venkateswara R., Dussarrat, Christian, Puukilainen, Esa, Ritala, Mikko, Leskelä, Markku
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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