Pattern Shape Control for Heat Treatment Purification of Electron-Beam-Induced Deposition of Gold from the Me 2 Au(acac) Precursor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Langmuir 2012-04, Vol.28 (14), p.6185-6191
Hauptverfasser:	Riazanova, Anastasia V., Rikers, Yuri G. M., Mulders, Johannes J. L., Belova, Lyubov M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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