Scanning Probe Lithography. 2. Selective Chemical Vapor Deposition of Copper into Scanning Tunneling Microscope-Defined Patterns

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Langmuir 1994-03, Vol.10 (3), p.615-618
Hauptverfasser: Schoer, Jonathan K, Ross, Claudia B, Crooks, Richard M, Corbitt, Thomas S, Hampden-Smith, Mark J
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0743-7463
1520-5827
DOI:10.1021/la00015a002