Spectroscopic and Modeling Investigations of the Gas Phase Chemistry and Composition in Microwave Plasma Activated B 2 H 6 /CH 4 /Ar/H 2 Mixtures
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Veröffentlicht in: | The journal of physical chemistry. A, Molecules, spectroscopy, kinetics, environment, & general theory Molecules, spectroscopy, kinetics, environment, & general theory, 2010-09, Vol.114 (37), p.10076-10089 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1089-5639 1520-5215 |
DOI: | 10.1021/jp104532y |