Possible Gas-Phase Reactions of H 2 /CH 4 /Tetramethylsilane in Diamond/β-SiC Nanocomposite Film Deposition: An Ab-Initio Study

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	The journal of physical chemistry. A, Molecules, spectroscopy, kinetics, environment, & general theory Molecules, spectroscopy, kinetics, environment, & general theory, 2007-05, Vol.111 (18), p.3554-3559
Hauptverfasser:	Zhao, Y. L., Zhang, R. Q., Srikanth, Vadali. V. S. S., Jiang, X.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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