Etching of GaAs(100) Surfaces by Cl 2 : Quantum Chemical Calculations on the Mechanisms

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	The journal of physical chemistry. B 2000-08, Vol.104 (34), p.8210-8216
Hauptverfasser:	Jenichen, Arndt, Engler, Cornelia
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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