Kinetic modeling of the chemical vapor deposition of tin oxide from dimethyltin dichloride and oxygen

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physical chemistry (1952) 1993-03, Vol.97 (10), p.2275-2283
Hauptverfasser:	Giunta, Carmen J, Strickler, David A, Gordon, Roy G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Methods of crystal growth physics of crystal growth Physics Theory and models of crystal growth physics of crystal growth, crystal morphology and orientation
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