BHCl 2 Formation during Chemical Vapor Deposition of Boron in a Dual-Impinging Jet Reactor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Industrial & engineering chemistry research 1997-12, Vol.36 (12), p.5537-5540
Hauptverfasser:	Sezgi, N. A., Doǧu, T., Özbelge, H. Ö.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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