Control of Surface Film Composition and Orientation with Downstream PECVD of Hexafluoropropylene Oxide

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 1999-04, Vol.11 (4), p.862-864
Hauptverfasser:	Butoi, Carmen I, Mackie, Neil M, Barnd, Jeffrey L, Fisher, Ellen R, Gamble, Lara J, Castner, David G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Physicochemistry of polymers Polymerization Polymers and radiations
Online-Zugang:	Volltext
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