Atomic Layer Deposition of Ruthenium and Ruthenium Oxide Thin Films from a Zero-Valent (1,5-Hexadiene)(1-isopropyl-4-methylbenzene)ruthenium Complex and O 2

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2014-12, Vol.26 (24), p.7083-7090
Hauptverfasser:	Jung, Hyo Jun, Han, Jeong Hwan, Jung, Eun Ae, Park, Bo Keun, Hwang, Jin-Ha, Son, Seung Uk, Kim, Chang Gyoun, Chung, Taek-Mo, An, Ki-Seok
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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