Selective Area Spatial Atomic Layer Deposition of ZnO, Al 2 O 3 , and Aluminum-Doped ZnO Using Poly(vinyl pyrrolidone)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2014-02, Vol.26 (4), p.1514-1522
Hauptverfasser:	Ellinger, Carolyn R., Nelson, Shelby F.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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