Combinatorial Chemical Vapor Deposition of Metal Dioxides Using Anhydrous Metal Nitrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2002-02, Vol.14 (2), p.474-476
Hauptverfasser:	Smith, Ryan C, Hoilien, Noel, Roberts, Jeff, Campbell, Stephen A, Gladfelter, Wayne L
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics
Online-Zugang:	Volltext
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