Nitrogenation of Silicon Carbide Layers Deposited on Silicon Single-Crystal Wafers via Pyrolysis of Poly(methylsilane)

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 1995-06, Vol.7 (6), p.1214-1220
Hauptverfasser:	Scarlete, Mihai, Butler, Ian S, Harrod, John F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry Exact sciences and technology General and physical chemistry Solid-gas interface Surface physical chemistry
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!