GaN Film Growth Using Single-Source Precursors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 1995-03, Vol.7 (3), p.546-552
Hauptverfasser:	Lakhotia, Vikas, Neumayer, Deborah A, Cowley, A. H, Jones, R. A, Ekerdt, J. G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Ion and electron beam-assisted deposition ion plating Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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