Novel Functional Polymers from N-(Tosyloxy)maleimide. Photochemical Acid Generation in Solid-State and Application as Resist Materials

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 1994-08, Vol.6 (8), p.1452-1456
Hauptverfasser:	Ahn, Kwang-Duk, Chung, Chan-Moon, Koo, Deok-Il
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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