Synthesis and Lithographic Characterization of Block Copolymer Resists Consisting of Both Poly(styrene) Blocks and Hydrosiloxane-Modified Poly(diene) Blocks

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 1994-07, Vol.6 (7), p.927-934
Hauptverfasser:	Gabor, Allen H, Lehner, Eric A, Mao, Guoping, Schneggenburger, Lizabeth A, Ober, Christopher K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electrical, magnetic and optical properties Exact sciences and technology Organic polymers Physicochemistry of polymers Properties and characterization
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