Titanium isopropoxide as a precursor in atomic layer epitaxy of titanium dioxide thin films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 1993-08, Vol.5 (8), p.1174-1181
Hauptverfasser:	Ritala, Mikko, Leskela, Markku, Niinisto, Lauri, Haussalo, Pekka
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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