Structure and chemistry of silicon nitride and silicon carbonitride thin films deposited from ethylsilazane in ammonia or hydrogen

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 1992-03, Vol.4 (2), p.478-483
Hauptverfasser:	Bae, Y. W, Du, H, Gallois, B, Gonsalves, K. E, Wilkens, B. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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