Chemical vapor deposition of silicon carbide from 1,3-disilacyclobutane

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 1992-01, Vol.4 (1), p.22-24
Hauptverfasser:	Larkin, D. J, Interrante, L. V
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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