Controlling the Al-Doping Profile and Accompanying Electrical Properties of Rutile-Phased TiO 2 Thin Films
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Veröffentlicht in: | ACS applied materials & interfaces 2014-05, Vol.6 (10), p.7910-7917 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 1944-8244 1944-8252 |
DOI: | 10.1021/am501247u |