Controlling the Al-Doping Profile and Accompanying Electrical Properties of Rutile-Phased TiO 2 Thin Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:ACS applied materials & interfaces 2014-05, Vol.6 (10), p.7910-7917
Hauptverfasser: Jeon, Woojin, Rha, Sang Ho, Lee, Woongkyu, Yoo, Yeon Woo, An, Cheol Hyun, Jung, Kwang Hwan, Kim, Seong Keun, Hwang, Cheol Seong
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1944-8244
1944-8252
DOI:10.1021/am501247u