Fabrication and Demonstration of III–V/Si Heterocore Microcavity Lasers via Ultrathin Interlayer Bonding and Dual Hard Mask Techniques

Heterogeneously integrated heterocore microcavity III–V semiconductor lasers on silicon-on-insulator (SOI) are fabricated and demonstrated in this paper. The heterocore microcavity is realized via ultrathin silicon dioxide interlayer bonding of III–V on SOI and dual hard mask technique. The dual har...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ACS photonics 2016-11, Vol.3 (11), p.2191-2196
Hauptverfasser:	Lee, Chee-Wei, Ng, Doris Keh-Ting, Tan, Ai Ling, Wang, Qian
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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